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晶圓真空退火爐 低溫退火設備 青島晨立

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詳細信息

晶圓真空退火爐主要用于半導體晶圓在高真空環(huán)境下的低溫退火。

尺寸：4-8英寸晶圓

晶圓舟：標準25片

控溫精度：±3℃

升溫速率：10℃/min

潔凈等級：百級潔凈

真空度：5*10-4 Pa

使用溫度：200-550度



聯(lián)系方式
  • 聯(lián)系人： 姜經(jīng)理 先生
  • 職位： 銷售經(jīng)理
  • 傳 真： 0532-88533525
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