Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro
上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級桿質譜儀)集高靈敏度, 高穩定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評估真空系統中的殘余氣體成分. 低可檢測分壓 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:
模塊化設計保證兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長工作時間
低可檢測分壓 3 X10-15 hPa
可直接連接真空計, 方便測量壓力
氣密離子源型號可選, 適合與進氣系統組合使用, 具有低氣體消耗和高信噪比的特點.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:
型號 | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 | |
檢測器 | 法拉第 Faraday (F) | 電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) | |||||
質量數 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 | |
四極桿直徑／長度 | 6 / 125 mm | ||||||
小檢測極限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - | |
小檢測極限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 | |
對Ar的靈敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | |
大工作壓力 F hPa | 5X10-4 | ||||||
大工作壓力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 | |
對臨近質量數的影響*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | |
操作溫度 分析 | 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) | ||||||
操作溫度 電子 | 5 – 50 °C | ||||||
烘烤溫度 分析 | 300 °C (移除電子模塊) | ||||||
連接法蘭 | DN 40 CF-F | ||||||
保壓時間 | 1 ms – 16 s/amu | ||||||
重量 | 2.5 kg | 3.2 kg | |||||
* 1 開放式離子源
* 2 停留時間 4秒
*3 與 C-SEM相比, 具有較高的靈敏度
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標準通訊接口:
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴展的通訊接口:.jpg)
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