設(shè)備分類：從結(jié)構(gòu)上分為臥式、立式、箱式，從真空度上分為低真空、高真空，從使用溫度上分為低溫、高溫，從真空室材料上分為石英管、耐熱不銹鋼管，從真空獲得上分機械泵、機械泵＋擴散泵、機械泵＋分子泵。
設(shè)備用途：廣泛用于電力電子器件、玻封二級管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結(jié)、封裝、焊接、合金、退火等工藝。
主要技術(shù)指標： 
★工位：     單、雙、三工位
★工作溫度：   300～1100℃（不銹鋼真空室高1000℃）
★真空度：    優(yōu)于5×10-3 Pa
★真空室直徑：Φ150～300 mm
★恒溫區(qū)長度：400～1000 mm
★控制精度： ±1.0～3.0℃
★爐體移動速度：0～400 mm/min
★大充氣壓力：0.5 MPa （不銹鋼真空室）
★加熱功率：    10～80 KVA
★控制系統(tǒng)：   進口儀表＋PLC＋觸摸屏
★連鎖保護：超溫、斷偶、缺水、壓力異常保護報警