大學石墨烯制備爐PECVD產物簡介：此款裝備配有Plasma完成等離子加強，滑軌式設計在操縱時可將試驗需要的恒定低溫間接推到樣品處，使樣品能獲得一個疾速的升溫速率，異樣也可將低溫的管式爐間接推離樣品處，使樣品間接裸露在室溫情況下，獲得疾速的降溫速率。并可選配氛圍微調裝配，可的節制反響腔體外部的氣體壓力，帶刻度的調理閥對付做高壓CVD異常簡略適用，工藝反復性好，對付石墨烯發展工藝異常適合，也異樣適用于請求疾速升降溫的CVD試驗。 

大學石墨烯制備爐PECVD重要功效和特色： 

1、應用輝光放電發生等離子體電子啟動氣相； 

2、進步了氣相反響的堆積速率、成膜品質； 

3、可通過調劑射頻電源頻率來節制堆積速率； 

4、能普遍用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的發展。 

大學石墨烯制備爐PECVD

開啟式真空管式爐技巧參數 

石英管尺寸 L1400mm  Φ（60、80、100） 

加熱元件 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 

測溫元件 K型熱電偶 

加熱區長度 410mm   

恒溫區長度 200mm 

事情溫度 ≤1100℃ 

控溫形式 隱約PID節制和自整定調理，智能化30段可編程節制，具備超平和斷偶報警功效 

控溫精度 ±1℃ 

升溫速率 ≤20℃/min 

電功率 AC220V/50HZ/3KW 

品質供氣體系技巧參數 

形狀尺寸 600x600x600mm 

尺度量程 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）；

數顯壓力表丈量規模 -0.1Mpa～0.15Mpa 

極限壓力 3MPa 

針閥 316不銹鋼 

截止閥 Φ6mm 316不銹鋼針閥 

電功率 AC220V/50HZ/20W 

回應光陰 氣特征：1～4 Sec，電特征：10 Sec 

度 ±1.5% 

線性 ±0.5～1.5% 

反復精度 ±0.2% 

界面 Φ6,1/4'' 

真空體系技巧參數 

造型尺寸 600×600×600mm 

事情電電壓 220V±10%  50~60HZ 

功率 400W 

抽氣速率 4Ls 

極限真空 4X10-2Pa 

試驗真空度 1.0X10-1Pa 

容油量 1.1L 

進氣口口徑 KF25 

供電電壓 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

整機效率 >=70%

功率因素 >=90%

冷卻方式 強制風冷